超纯水制造系统
用于清洗半导体晶圆、液晶屏等各种精密电子元器件,均需要使用超高纯度水。另外除了超纯水的高纯度,还需要相对应的微量分析技术,奥加诺依靠先进的技术能力,同时具备以上要求的对应能力,满足客户最高水准的要求。
奥加诺超纯水制造系统的代表设备
半导体超纯水用离子交换树脂「ESP系列」
是对超纯水纯度具有极高要求的半导体设备专用离子交换树脂。采用奥加诺独创的净化方法实现低洗脱,高水质。高品质超纯水的快速启动和供应助力制造工程的稳定运行。
离子交换树脂纯水装置STRATA系列
STRATA系列汇集了多年的专有技术及经验,是敝社独创的离子交换树脂纯水设备。它可以高标准的处理水质,快速实现回收再利用,节省再生化学品的原料。
拥有20年以上制取功能水经验,引以为傲的“酸还王系列”设备
酸还王Z:臭氧水制取设备
酸还王D:脱气水制取设备
酸还王G:气体溶解水设备
半导体、液晶、电子产品等高精度清洗的最终解决办法(指用途)
酸还王Z:去除有机物、去除水电阻、形成硅晶片的氧化膜
酸还王D:防止主板氧化
酸还王G:预防半导体细小元器件脱落
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